电子工业用超纯水概述 半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。 电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种: 设备通常由多介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等构成前期预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。 采用碳钢多级离子交换 制取电子工业超纯水处理 还未装入树脂的去离子设备 电子工业用超纯水的应用领域 1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路; 2、超纯材料和超纯化学试剂; 3、实验室和中试车间; 4、汽车、家电表面抛光处理; 5、光电产品; 6、其他高科技精微产品;
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