陪备真空腔和高性能真空泵，全自动真空控制系统，使真空测试过程更加智能化
镀层厚度测量精确至0.005微米
分析低含量的轻元素时，使用真空泵设备将空气抽出，使内部在真空状态下进行对轻元素的分析
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